Browsing by Author Лушакова, М.С.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2026 | Феноменологическое моделирование и экспериментальная оценка скорости плазменного травления кремния в комбинированном разряде | Лушакова, М.С.; Мадвейко, С.И.; Купо, А.Н. |