DSpace JSPUI
DSpace сохраняет и позволяет легкий и открытый доступ ко всем видам цифрового контента, включая текст, изображения, анимированные изображения, MPEG и наборы данных
Узнать больше
Просмотр собрания по группе - Авт Emelyanov, V.V.
Результаты 1 по 3 из 3
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
2023 | Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния | Купо, А.Н.; Емельянов, В.В.; Емельянов, В.А.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.V.; Emelyanov, V.A. |
2023 | Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники | Емельянов, В.В.; Купо, А.Н.; Емельянов, В.А.; Emelyanov, V.V.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.A. |
2023 | Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси | Емельянов, В.В.; Купо, А.Н.; Емельянов, В.А.; Emelyanov, V.V.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.A. |