Отражение света ТЕ поляризации от металлической пленки в условиях аномального скин-эффекта

Abstract

Развита теория оптического скин-эффекта применительно к возбуждению металлической пленки наклонно падающей плоской волной ТЕ поляризации. Методом возмущений получены аналитические выражения для напряженности электрического поля в пленке и для коэффициента отражения света от пленки, в которых разделены вклады нормального и аномального скин-эффектов. Количественно исследованы угловые спектры отражательной способности Ag, Au и Ti пленок. Показано, что точность приближения нормального скин-эффекта снижается по мере уменьшения толщины пленки. Использование данного приближения при решении обратной оптической задачи рефлектометрии Ag и Au пленок толщиной в несколько нанометров привело к существенным погрешностям для восстанавливаемых параметров пленок.