Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГайшун, В.Е.-
dc.contributor.authorКосенок, Я.А.-
dc.contributor.authorТюленкова, О.И.-
dc.contributor.authorБулавко, М.А.-
dc.contributor.authorСавицкая, Т.А.-
dc.contributor.authorКимленко, И.М.-
dc.date.accessioned2021-09-28T09:03:17Z-
dc.date.available2021-09-28T09:03:17Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationПолирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материалов / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, М.А. Булавко, Т.А. Савицкая, И.М. Кимленко // Научная конференция, посвященная 110-летию со дня рождения Ф. И. Федорова (Гомель, 25 июня 2021 года) [Электронный ресурс] : сборник материалов / Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины, отделение физики, математики и информатики Национальной академии наук Беларуси, государственное научное учреждение «Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси» ; редкол. : С. А. Хахомов (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2021. – С. 308-312.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27110-
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф. Скориныru
dc.titleПолирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материаловru
dc.typeArticleru
dc.rootНаучная конференция, посвященная 110-летию со дня рождения Ф. И. Федорова (Гомель, 25 июня 2021 года) [Электронный ресурс] : сборник материаловru
dc.placeOfPublicationГомельru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Гайшун_Полирующие.pdf517.55 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.