Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСвиташев, К.К.-
dc.contributor.authorСемененко, А.И.-
dc.contributor.authorСемененко, Л.В.-
dc.contributor.authorСоколов, В.К.-
dc.date.accessioned2021-10-11T12:41:45Z-
dc.date.available2021-10-11T12:41:45Z-
dc.date.issued1972-
dc.identifier.citationО точности и чувствительности метода эллипсометрии / К.К. Свиташев [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1972. - Т. 33, вып. 4. - С. 742-747.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/28193-
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherНаукаru
dc.subjectэллипсометрияru
dc.subjectчувствительность методаru
dc.titleО точности и чувствительности метода эллипсометрииru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk535.39-
dc.placeOfPublicationЛенинградru
dc.edition4ru
dc.volume33ru
Располагается в коллекциях:Оцифрованный фонд

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Свиташев_О_точности.pdf7.72 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.