Кинетические особенности диспергирования кремнийорганических соединений в вакууме и молекулярная структура покрытий, осажденных из летучих продуктов диспергирования

Abstract

Показано, что особенности кинетики электронно-лучевого диспергирования кремнийорганических соединений и молекуляр-ной структуры слоев, осажденных из образовавшейся при диспергировании газовой фазы, обусловлены процессами химического взаимодействия, протекающими в зоне действия потока электронов на мишень. При диспергировании в условиях плазменной активации газовой фазы формируются слои, имеющие меньшую плотность углеводородных фрагментов и большую плотность ненасыщенных связей. Установлена возможность образования высокодисперсных композиционных покрытий на основе кремнийорганических соединений, молекулярная структура которых имеет заметные отличия от структуры исходных компонент.