Title: | Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники |
Authors: | Васькевич, В.В. Гайшун, В.Е. Коваленко, Д.Л. |
Keywords: | золь–гель-технология стойкость к истиранию структура поверхности диэлектрическая проницаемость |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова ÍАÍ України |
Citation: | Васькевич, С.В. Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / С.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, № 2. - С. 279-293. |
Abstract: | В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2- покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокристаллического кремния. Выполнены исследования механической стойкости к истиранию как основного вида испытания покрытий на прочность и адгезию к поверхности подложки. Методом ИК-спектроскопии изучены фазовые и структурные превращений в процессе формирования золь–гель-плёнок. Методом АСМ установлены зависимости состояния и морфологии поверхности покрытий от состава исходного плёнкообразующего раствора и технологических режимов получения диэлектрических плёнок. Проанализированы электрофизические свойства сформированных МДП-структур в зависимости от состава плёнкообразующего раствора. |
URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33483 |
Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Васькевич_Синтез_и_исследование.pdf | 438.84 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.