| Title: | Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике |
| Authors: | Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П. |
| Keywords: | суспензия тиксотропия аэросил ионообменная технология эффективная вязкость |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України |
| Citation: | Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я. А. Косенок [и др.] // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, № 2. - С. 269-277. |
| Abstract: | В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путём. Приводятся данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33584 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Косенок_Реологические_свойства.pdf | 338.33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.