Морфология и фазовый состав наноструктурированных углеродных покрытий, сформированных на подслое, содержащем политетрафторэтилен и формиат свинца

Abstract

Определены особенности морфологии, фазового состава углеродных покрытий, осажденных на подслои на основе политетрафторэтилена и формиата свинца различного состава. Установлено влияние массового соотношения компонентов исходной мишени, используемой для осаждения подслоя, и термообработки углеродных покрытий на их морфологию и фазовый состав. Оценена эффективность использования оксидов металлов и карбонизированных полимерных слоев для заданного изменения фазового состава, рельефа углеродных покрытий. The features of the morphology and phase composition of carbon coatings deposited on sublayers based on polytetrafluoroethylene and lead formate of various compositions have been determined. The effect of the mass ratio of the components of the initial target used for the deposition of the sublayer and the heat treatment of carbon coatings on their morphology and phase composition has been established. The efficiency of using metal oxides and carbonized polymer layers for a given change in the phase composition and relief of carbon coatings is estimated.