Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Семененко, А.И. | - |
dc.date.accessioned | 2022-02-28T11:00:06Z | - |
dc.date.available | 2022-02-28T11:00:06Z | - |
dc.date.issued | 1975 | - |
dc.identifier.citation | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1975. – Т. 39, вып. 5. – С. 967-972. | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34100 | - |
dc.description.abstract | Рассмотрены ошибки в определении поляризационных углов ѱ и Δ, обусловленные немонохроматичностью источника излучения. Показано, что эти ошибки неодинаковы в разных измерительных зонах эллипсометра. | ru |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.publisher | Наука | ru |
dc.title | К теории метода эллипсометрии | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
dc.edition | 5 | ru |
dc.volume | 39 | ru |
Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Семененко_К_теории.pdf | 7.69 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.