| Title: | Исследование процессов лазерного травления фоторезистов |
| Authors: | Федосенко, Н.Н. Алешкевич, Н.А. Шолох, В.Г. Купо, А.Н. |
| Keywords: | фотолитография лазерное травление фоторезист деструкция лазерное излучение микроструктура |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Гомельский инженерный институт МЧС Республики Беларусь |
| Citation: | Исследование процессов лазерного травления фоторезистов / Н.Н. Федосенко, Н.А. Алешкевич, В.Г. Шолох, А.Н. Купо // Чрезвычайные ситуации: образование и наука. - 2012. - Т. 7, № 1. - С. 104-109. |
| Abstract: | Выполнено математическое моделирование процессов лазерного травления эпоксидных фоторезистов с использованием излучений видимого и ближнего ультрафиолетового диапазонов. Приведены результаты исследования топографии поверхностей полученных фотерезистов методами растровой электронной микроскопии. Установлено, что наибольшая эффективность лазерного травления достигается при использовании излучения длиной волны 355 нм. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36146 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Федосенко_Исследование_процессов.pdf | 393.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.