Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Телеш, Е.В. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-04-18T10:03:42Z | - |
| dc.date.available | 2022-04-18T10:03:42Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е.В. Формирование пассивирующих слоев для микроэлектронных устройств на GaAs реактивным ионно-лучевым распылением / Е.В. Телеш // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : IV Республиканская научная конференция, посвященная 90-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2016 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2016. – С. 149-154. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37688 | - |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины | ru |
| dc.title | Формирование пассивирующих слоев для микроэлектронных устройств на GaAs реактивным ионно-лучевым распылением | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.root | Проблемы взаимодействия излучения с веществом : IV Республиканская научная конференция, посвященная 90-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2016 г.) | ru |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Телеш_Формирование.pdf | 550.03 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.