Размерные эффекты в бислойных покрытиях титан-углерод.1. Влияние толщины подслоя титана на структуру и свойства углеродного слоя

Abstract

Определены закономерности влияния толщины подслоя титана в двухслойных покрытиях титан-углерод на их фазовый состав, механические свойства. Наиболее сильное каталитическое влияние титанового подслоя проявляется при его толщине до 30...45 нм; при такой толщине установлены наиболее высокие концентрации атомов углерода с spᵌ -гибридизацией, микротвердость покрытия, его прозрачность в оптическом диапазоне и ширина запрещенной зоны. При увеличении толщины подслоя внутренние напряжения монотонно снижаются и при толщине большей 40 нм не изменяются. The influence regularities of the thickness of titanium interlayer on the phase composition and mechanical properties of titanium-carbon bilayer coatings have been determined. The strongest catalytic effect of titanium interlayer is presented in its thickness up to 30-45 nm. At the thickness range the bilayer coatings possess the highest concentration of spᵌ -hybridization carbon, microhardness, transparency and optical bandgap. As the thickness of the interlayer increases the internal stress monotonically decreases and, it is not changed when the thickness exceeds 40 nm.