Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Белинска, А.А. | - |
| dc.contributor.author | Калныня, Р.П. | - |
| dc.contributor.author | Фелтынь, И.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-10-26T08:01:54Z | - |
| dc.date.available | 2022-10-26T08:01:54Z | - |
| dc.date.issued | 1979 | - |
| dc.identifier.citation | Белинска, А.А. Эллипсометрические исследования сильно поглощающих пленок на поверхности кремния / А.А. Белинска, Р.П. Калныня, И.А. Фелтынь // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1979. – Т. 46, вып. 2. – С. 317-320. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/45737 | - |
| dc.description.abstract | Проведен анализ расчетных зависимостей эллипсометрических параметров для системы кремний - поглощающая пленка. Получено хорошее согласие экспериментальных и расчетных эллипсометрических параметров для модели с учетом присутствия слоев прозрачной естественной окиси на кремниевой подложке и на поглощающей пленке. Показано, что примерно до 200 Å для определения толщины поглощающей пленки целесообразно пользоваться толщинной зависимостью параметра. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Эллипсометрические исследования сильно поглощающих пленок на поверхности кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 539.238:535-46 | - |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 2 | ru |
| dc.volume | 46 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Белинска_Эллипсометрические.pdf | 7.07 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.