Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМельникова, Е.А.-
dc.date.accessioned2022-12-21T08:45:17Z-
dc.date.available2022-12-21T08:45:17Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМельникова, Е.А. Суспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния / Е.А. Мельниклва// Творчество молодых` 2014 : сборник научных работ студентов, магистрантов и аспирантов. В 3 ч. / редкол.: О.М. Демиденко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2014. – Ч. 1. – С. 128-132.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/50104-
dc.description.abstractВ статье описывается методика приготовления высокоэффективных полирующих суспензий на основе наноразмерных порошков SiO2 для химико-механического полирования пластин монокристаллического кремния, результаты исследований полирующих свойств суспензий СПС-8 и СПС-55 и их сравнение с коммерческими золями Nalko 2358 и Nalko 2360 (США), а также приводятся АСМ изображения поверхности пластин кремния после I и II стадий химико-механического полирования полученными суспензиями.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф. Скориныru
dc.titleСуспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремнияru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk546.28-
dc.rootТворчество молодых` 2014 : сборник научных работ студентов, магистрантов и аспирантовru
dc.placeOfPublicationГомельru
dc.edition1ru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Мельникова_Суспензии.pdf808.85 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.