| Title: | Эллипсометрические исследования шероховатых поверхностей кремния |
| Authors: | Бендере, Р.Б. Калныня, Р.П. Фелтынь, И.А. |
| Issue Date: | 1982 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Бендере, Р.Б. Эллипсометрические исследования шероховатых поверхностей кремния / Р.Б. Бендере, Р.П. Калныня, И.А. Фелтынь // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1982. - Т. 53, вып. 3. - С. 507-511. |
| Abstract: | Рассмотрена возможность эллипсометрического определения параметров микронеровностей шероховатых кремниевых поверхностей. На основе исследований шероховатых поверхностей двух видов показано, что при установленном виде шероховатости эллипсометрические методы дают результаты, хорошо соответствующие микроскопическим исследованиям. Для определения вида шероховатости предложено использовать иммерсионную эллипсометрию. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53333 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бендере_Эллипсометрические.pdf | 8.06 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.