Структура и механические свойства легированных азотом и алюминием углеродных покрытий

Abstract

Легированные азотом и алюминием углеродные покрытия осаждались из совмещенных потоков импульсной углеродной плазмы и генерируемых дуговым разрядом постоянного тока ионов алюминия при парциальном давлении азота 6·10⁻² Па. Определены закономерности влияния условий и режимов осаждения на фазовый состав углеродной матрицы и механические свойства покрытий. При режиме осаждения (6 Гц, 60 А) покрытия характеризуются наименьшим размером Csp² кластеров, их высокой концентрацией, что и определило их максимальную микротвердость, высокие упруго-пластические и триботехнические свойства. = Carbon coatings doped with nitrogen and aluminum were deposited from combined flows of pulsed carbon plasma and aluminum ions generated by a DC arc discharge at a nitrogen partial pressure of 6·10⁻² Pa. The regularities of the influence of conditions and modes of deposition on the phase composition of the carbon matrix and the mechanical properties of the coatings are determined. In the deposition mode (6 Hz, 60 A), the coatings are characterized by the smallest size of Csp² clusters and their high concentration, which determined their maximum microhardness, high plastic and tribological properties.