Морфология и механические свойства Cr-TiN покрытий осажденных, при различном давлении азота

Abstract

В работе установлены особенности формирования поверхностной морфологии композиционных покрытий на основе нитрида титана, легированного хромом, а также определена их твердость и модуль упругости в зависимости от расхода рабочих газов. Методами атомно-силовой и электронной микроскопии показано изменение параметров поверхностной морфологии (шероховатости RMS, размера зерна) покрытий в зависимости от состава рабочей газовой смеси. Полученные результаты определяются особенностями осаждения и роста покрытий, а также протеканием процессов химического взаимодействия между элементами в покрытии. = The paper establishes the features of the formation of the surface morphology of composite coatings based on titanium nitride alloyed with chromium and determines their hardness and modulus of elasticity depending on the consumption of working gases Atomic force and electron microscopy methods show the change in surface morphology parameters (RMS roughness, grain size) of coatings depending on the composition of the working gas mixture. The results obtained are determined by the features of the deposition and growth of coatings, as well as the course of chemical interaction processes between the elements in the coating.