Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДемиденко, Н.Е.-
dc.contributor.authorПетлицкий, А.Н.-
dc.date.accessioned2023-08-22T11:04:57Z-
dc.date.available2023-08-22T11:04:57Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationДемиденко, Н.Е. Исследование микротвердости формируемых пленок дисилицида титана с использованием БТО / Н.Е. Демиденко ; науч. рук. А.Н. Петлицкий // Актуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.) : сборник материалов / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2023. – С. 40-42.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62197-
dc.description.abstractВ данной работе мы рассмотрим эффективный метод формирования пленок дисилицида титана с использованием быстрого термического отжига и оценим их микротвердость. Для этого используется твердофазная реакция пленки титана с областями кремния с помощью быстрой термической обработки, что позволяет минимизировать влияние окружающей среды на образование силицидов и на уже сформированные элементы активной структуры интегральных микросхем.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф.Скориныru
dc.titleИсследование микротвердости формируемых пленок дисилицида титана с использованием БТОru
dc.typeArticleru
dc.rootАктуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.)ru
dc.placeOfPublicationГомельru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Демиденко_Исследование.pdf332.05 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.