Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Рашкевич, Н.А. | - |
| dc.contributor.author | Косенок, Я.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-08-25T07:59:45Z | - |
| dc.date.available | 2023-08-25T07:59:45Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Рашкевич, Н.А. Разработка состава и методики получения суспензий, используемых в процессе химико-механической планаризации слоёв диоксида кремния / Н.А. Рашкевич ; науч. рук. Я.А. Косенок // Актуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.) : сборник материалов / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2023. – С. 115-118. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62254 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины | ru |
| dc.title | Разработка состава и методики получения суспензий, используемых в процессе химико-механической планаризации слоёв диоксида кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.root | Актуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.) : сборник материалов | ru |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Рашкевич_Разработка.pdf | 477.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.