Лазерная резка керамических материалов с металлизированной поверхностью

Abstract

Предложен двухлучевой способ разделения керамических материалов с металлизированным слоем, сущность которого заключается в одновременном облучении обрабатываемой детали со стороны неметаллического слоя двумя лазерными пучками с разными длинами волн, одна из которых λ₁ соответствует максимальному поглощению лазерного излучения в металлическом слое, а вторая λ₂ соответствует максимальному поглощению в неметаллическом слое. Проведены численные расчеты термоупругих полей, возникающих в исследуемых образцах, методом конечных элементов. Полученные результаты могут быть использованы в технологии лазерной обработки диэлектрических материалов.