| Title: | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем |
| Authors: | Соколов, С.И. |
| Keywords: | автореферат |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Citation: | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Соколов Сергей Иванович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2023. - 25 с. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/67040 |
| Appears in Collections: | Авторефераты диссертаций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат_Соколов_ВАК_2023.pdf | 1.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.