Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСтаровойтов, А.С.-
dc.contributor.authorЗайцев, В.А.-
dc.contributor.authorШершнев, Е.Б.-
dc.contributor.authorШалупаев, С.В.-
dc.contributor.authorФедосенко, Н.Н.-
dc.contributor.authorНикитюк, Ю.В.-
dc.contributor.authorМорозов, В.П.-
dc.date.accessioned2024-06-11T08:54:37Z-
dc.date.available2024-06-11T08:54:37Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationПатент 323 Республика Беларусь, С 23С 14/28. Установка для получения алмазоподобных пленок [Текст] / А.С. Старовойтов, В.А. Зайцев, Е.Б. Шершнев, С.В. Шалупаев, Н.Н. Федосенко, Ю.В. Никитюк, В.П. Морозов ; заявитель и патентообладатель Республиканское алмазообрабатывающее унитарное предприятие «Гомельское ПО «Кристалл». - № u 20000198 ; заявл. 19.12.2000 ; опубл.: 30.09.2001. – 3 с.ru
dc.identifier.urihttps://elib.gsu.by/handle123456789/67795-
dc.description.abstractУстановка для получения алмазоподобных пленок, содержащая рабочий лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее держатели с мишенью и подложкой, на которую осаждается испаряемый материал мишени, отличающаяся тем, что дополнительно содержит вспомогательный лазер с длиной волны видимого диапазона, ионно-лучевой источник и устройство сканирования, причем вспомогательный и рабочий лазеры последовательно расположены на одной оптической оси установки.ru
dc.language.isoruru
dc.titleУстановка для получения алмазоподобных пленокru
Appears in Collections:Патенты

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
u323-bypatents.com.pdf117.62 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.