Оптимизация процессов обработки хрупких неметаллических материалов в производстве изделий электронной техники

Abstract

Предложена методика расчёта и определены оптимальные параметры обработки твёрдых неметаллических материалов, которые нашли своё применение в электронной технике. Показано, что предложенная методика позволяет оптимизировать обработку таких материалов, как кремний, германий, арсенид галия, кварцевое стекло, природный и синтетический алмаз. При расчёте оптимальных параметров обработки используются значения физико-механических свойств указанных материалов. Полученные результаты могут быть использованы при определении технологических параметров процессов обработки твёрдых хрупких неметаллических материалов в электронике. = The paper proposes a calculation method and determines the optimal parameters for processing hard non-metallic materials, which have found their application in electronic engineering. It is shown that the proposed method makes it possible to optimize the processing of such materials as silicon, germanium, gallium arsenide, quartz glass, natural and synthetic diamond. When calculating the optimal processing parameters, the values of the physical and mechanical properties of these materials are used. The results obtained can be used to determine the technological parameters of hard brittle non-metallic materials processing in electronics.