DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Browsing by Subject silicon wafer
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Laser splitting of bilayer structures made of silicon wafers and glass substrates | Nikitjuk, Y.V.; Serdyukov, A.N.; Aushev, I.Y.; Никитюк, Ю.В.; Сердюков, А.Н.; Аушев, И.Ю. |
2012 | Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110) | Сердюков, А.Н.; Шалупаев, С.В.; Никитюк, Ю.В.; Середа, А.А.; Serdykov, A.N.; Shalupaev, S.V.; Nikitjuk, Y.V.; Sereda, A.A. |