DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Browsing by Subject tantalum oxide
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д.А.; Нгуен, Т.Д.; Villa, N.; Golosov, D.A.; Nguyen, T.D. |
2022 | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру | Доан, Х.Т.; Голосов, Д.А.; Бурдовицин, В.А.; Завадский, С.М.; Мельников, С.Н.; Doan, H.T.; Golosov, D.A.; Burdovitsin, V.A.; Zavadski, S.M.; Melnikov, S.N. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д.А.; Мельников, С.Н.; Нгуен, Т.Д.; Голосов, А.Д.; Литвин, Э.Е.; Лам, Н.Н.; Villa, N.; Golosov, D.A.; Melnikov, S.N.; Nguyen, T.D.; Golosov, A.D.; Litvin, E.E.; Lam, N.N. |