Влияние режимов формирования на морфологию и фазовый состав углеродных покрытий, армированных многослойными углеродными нанотрубками

Abstract

Рассмотрены морфологические особенности и фазовый состав углеродных покрытий, армированных углеродными нанотрубками и сформированных с различной частотой следования импульсов катодно-дугового источника углеродной плазмы. Показано, что армированные углеродные покрытия характеризуются большей субшероховатостью и перепадами рельефа (до 500 нм) по сравнению с неармированными нанотрубками покрытиями, что обусловлено присутствием агломератов МУНТ и их случайным распределением по поверхности. Установлено, что агломераты МУНТ вносят существенный вклад в формирование итогового КР-спектра, что, по всей видимости, обусловлено увеличением числа дефектов и аморфизацией стенок МУНТ в результате воздействия потока углеродной плазмы. The morphological features and phase composition of carbon coatings reinforced with carbon nanotubes and formed with different pulse repetition rates of a cathode-arc carbon plasma source are considered. It is shown that reinforced carbon coatings are characterized by greater sub-roughness and relief differences (up to 500 nm) as compared to coatings unreinforced with nanotubes, which is due to the presence of MWCNT agglomerates and their random distribution over the surface. It was found that agglomerates of MWCNTs make a significant contribution to the formation of the final Raman spectrum, which is most likely due to an increase in the number of defects and amorphization of the MWCNT walls as a result of the action of a carbon plasma flow.