| Title: | Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов |
| Authors: | Терентьев, Б.М. Белюсенко, Н.А. Пекарский, Н.А. |
| Keywords: | радиационно-физическая альфа-установка обработка полупроводниковых приборов и материалов |
| Issue Date: | 1981 |
| Publisher: | Атомиздат |
| Citation: | Терентьев, Б.М. Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов / Б. М. Терентьев, Н. А. Белюсенко, Н. А. Пекарский // Атомная энергия / АН СССР. - М. : Атомиздат, 1981. - Т. 51, вып. 4. - С. 284. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/23598 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Terentyev_Radiatsionno-.pdf | 2.16 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.