Влияние технологических режимов формирования на структуру и свойства покрытий на основе полимеров, осаждаемых из активной газовой фазы (обзор). 1. Влияние условий и режимов генерации активной газовой фазы

Abstract

Проведен анализ влияния энергии и плотности потока электронов, введения в мишень низкомолекулярных соединений, лазерного ассистировании процесса диспергировании, плазменного разряда в летучих продуктах на молекулярную структуру и свойства покрытий на основе полимеров, осаждаемых из активной газовой фазы. Определена эффективность регулирования структуры и свойств покрытий путем изменения условий и режимов генерации газовой фазы.