Влияние ионного азотирования на фазовый состав, структуру и свойства углеродных покрытий

Abstract

Определены основные закономерности изменения свойств, фазового состава и механических свойств однокомпонентных и легированных металлом (Cr, Ti, Cu) углеродных покрытий, подвергнутых ионному азотированию. Показано, что ионное азотирование вызывает в поверхностных слоях повышение доли sp2-фазы при снижении размера кластеров. При ионном азотировании углеродсодержащих покрытий установлено образование соединений CNx с преобладающим содержанием связей типа N–Csp2. Однокомпонентные углеродные покрытия после их ионного азотирования характеризируются более дисперсной структурой, высоким содержанием связей N–Csp3 в сравнении со структурой и составом покрытий, сформированных в условиях ионного ассистирования или же в присутствии молекулярного азота.