Аналитическое решение обратной спектрофотометрической задачи для прозрачного слоя на поглощающей подложке

Abstract

Впервые получено аналитическое и численное решение обратной спектрофотометрической задачи для слоя диоксида кремния на кремниевой подложке. Аналитически определенные параметры слоя и подложки можно использовать в качестве первых приближений при численных расчетах параметров трехслойной модели. Структуру неоднородных поверхностного и переходного слоев интерпретировали моделью Максвелла-Гарнетта и Бруггемана.