Влияние концентрации металла на фазовый состав, структуру и свойства углерод-металлических покрытий

Abstract

Определены морфологические особенности, фазовый состав, микротвердость и триботехнические свойства композиционных углеродных покрытий, сормированных современным осаждением углеродных плазменных потоков из импульсного катодно-дугового разряда и потоков томов, ионов металла, генерируемых магнетронным распылением, их зависимость от мощности источника покрытия.