Title: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии |
Authors: | Свиташев, К.К. Семененко, А.И. Семененко, Л.В. Соколов, В.К. |
Keywords: | эллипсометрия чувствительность метода |
Issue Date: | 1972 |
Publisher: | Наука |
Citation: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии / К.К. Свиташев [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1972. - Т. 33, вып. 4. - С. 742-747. |
URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/28193 |
Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Свиташев_О_точности.pdf | 7.72 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.