Морфология и фазовый состав легированных кремнием углерод-титановых покрытий

Abstract

Рассмотрены морфологические особенности и фазовый состав углеродных покрытий, легированных кремнием и титаном. Показано, что легирование кремнием углерод-титановых покрытий приводит к снижению содержания sp²-гибридизированных кластеров, свободных атомов графита за счет образования Si-C связей, росту шероховатости и некоторому улучшению гидрофобных свойств поверхности.The morphological features and phase composition of carbon coatings doped with silicon and titanium are considered. It is shown that silicon doping of carbon-titanium coatings leads to a decrease in the content of sp²-hybridized clusters, free graphite atoms due to the formation of Si-C bonds, an increase in roughness, and some improvement in the hydrophobic properties of the surface.