Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСавицкая, Т.А.-
dc.contributor.authorКимленко, И.М.-
dc.contributor.authorШахно, Е.А.-
dc.contributor.authorГайшун, В.Е.-
dc.contributor.authorКосенок, Я.А.-
dc.date.accessioned2022-02-16T12:54:59Z-
dc.date.available2022-02-16T12:54:59Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationИсследование влияния поверхностно-активных веществ на устойчивость полирующих суспензий диоксида кремния / Т.А. Савицкая [и др.] // Свиридовские чтения : сб. ст. Вып. 11 / редкол. : О. А. Ивашкевич (пред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2015. - С. 121-131.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33489-
dc.description.abstractПодобраны составы полирующих суспензий на основе наноразмерного диоксида кремния с использованием в качестве добавок неионогенных и ионогенных ПАВ. Изучено влияние ПАВ различной природы на дисперсный состав, устойчивость и реологические характеристики 25 % (масс) суспензий аэросила ОХ-50. С применением анионогенного ПАВ (додецилсульфата натрия) при концентрации ниже критической концентрации мицеллообразования (ККМ) получена стабильная суспензия с концентрацией дисперсной фазы 49 % (масс). Использование неионогенного ПАВ (моноолеата глицерина) позволило получить стабильную суспензию с концентрацией дисперсной фазы 39 % (масс) при концентрации ПАВ выше ККМ. Разработка технологии получения концентрированных стабильных суспензий на основе диоксида кремния для химико-механической полировки полупроводниковых пластин позволит отказаться от дорогостоящих импортных материалов и снизить затраты на производство конечной продукции. Suspensions based on nanosized silica modified by ionogenic and nonionogenic surfactants have been obtained. The influence of different surfactants on the dispersion composition, stability and rheological properties of 25 % (mass) OX-50 suspensions has been investigated. Modification of suspension by anionogenic surfactant (sodium dodecyl sulfate with concentration under critical concentration of micelle formation, CCM) promotes the formation of the stable suspension containing 49 % (mass) dispersion phase while modification by nonionogenic surfactant (glycerin monooleate with concentration above CCM) promotes the formation of the stable suspension containing 39 % (mass) dispersion phase. Thefindingscan be applied for developing the technology of synthesis of concentrated stable suspensions used for chemical-mechanical polishing of semiconductor plates.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherИздательский центр БГУru
dc.subjectхимико-механическая полировкаru
dc.subjectсуспензияru
dc.subjectколлоидный диоксид кремнияru
dc.subjectповерхностно-активные веществаru
dc.subjectдодецилсульфат натрияru
dc.subjectэтиленгликольru
dc.subjectмоноолеат натрияru
dc.subjectстабильностьru
dc.subjectреологическое поведениеru
dc.subjectдисперсный составru
dc.subjectchemical mechanical polishingru
dc.subjectsuspensioru
dc.subjectcolloid silicaru
dc.subjectsurfactantsru
dc.subjectsodium dodecyl sulfateru
dc.subjectethylene glycolru
dc.subjectglycerin monooleateru
dc.subjectstabilityru
dc.subjectrheological behaviorru
dc.subjectdispersion compositionru
dc.titleИсследование влияния поверхностно-активных веществ на устойчивость полирующих суспензий диоксида кремнияru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk544.77-
dc.rootСвиридовские чтения : сб. ст.ru
dc.placeOfPublicationМинскru
dc.edition11ru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Савицкая_Исследование.pdf2.36 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.