Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гайшун, В.Е. | - |
| dc.contributor.author | Косенок, Я.А. | - |
| dc.contributor.author | Тюленкова, О.И. | - |
| dc.contributor.author | Туров, В.В. | - |
| dc.contributor.author | Гунько, В.М. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-02-17T14:24:48Z | - |
| dc.date.available | 2022-02-17T14:24:48Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун [и др.] // Поверхность. - 2008. - Вип. 14. - С. 423-428. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33593 | - |
| dc.description.abstract | В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.title | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 546.28 | - |
| dc.root | Поверхность | ru |
| dc.edition | 14 | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Гайшун_Использование.pdf | 114.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.