Визуализация дефектов отдельной компоненты составного дифракционного оптического элемента

Abstract

Показана возможность визуализации дефектов отдельной компонентытонкого составного дифракционного оптического элемента, представляющего композицию тонкой подложки и пары совмещенных элементарных решеток. Рассмотрены возможные варианты визуализации дефектов как подложки, таки отдельных элементарных решеток дифракционного оптического элемента с использованием различных интерференционных способов, хорошо развитых в голографической интерферометрии фазовых объектов. Приведены экспериментальные результаты.

The possibility of the visualization of the defects of a separate component of the thin composite diffractive optical element has been demonstrated. This element represents a thin substrate composition and a pair of combined elementary gratings. Possible variants of the defects visualization as the substrate and of the separate elementary gratings of the diffraction optical element have been considered. Interference methods well developed in holographic interferometry of phase objects have been used. Experimental results have been presented.