Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Федосенко, Н.Н. | - |
dc.contributor.author | Алешкевич, Н.А. | - |
dc.contributor.author | Шолох, В.Г. | - |
dc.contributor.author | Купо, А.Н. | - |
dc.date.accessioned | 2022-03-30T09:54:05Z | - |
dc.date.available | 2022-03-30T09:54:05Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Исследование процессов лазерного травления фоторезистов / Н.Н. Федосенко, Н.А. Алешкевич, В.Г. Шолох, А.Н. Купо // Чрезвычайные ситуации: образование и наука. - 2012. - Т. 7, № 1. - С. 104-109. | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36146 | - |
dc.description.abstract | Выполнено математическое моделирование процессов лазерного травления эпоксидных фоторезистов с использованием излучений видимого и ближнего ультрафиолетового диапазонов. Приведены результаты исследования топографии поверхностей полученных фотерезистов методами растровой электронной микроскопии. Установлено, что наибольшая эффективность лазерного травления достигается при использовании излучения длиной волны 355 нм. | ru |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.publisher | Гомельский инженерный институт МЧС Республики Беларусь | ru |
dc.subject | фотолитография | ru |
dc.subject | лазерное травление | ru |
dc.subject | фоторезист | ru |
dc.subject | деструкция | ru |
dc.subject | лазерное излучение | ru |
dc.subject | микроструктура | ru |
dc.title | Исследование процессов лазерного травления фоторезистов | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udk | 544.032.65:5241.525 | - |
dc.root | Чрезвычайные ситуации: образование и наука | ru |
dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
dc.number | № 1 | ru |
dc.volume | 7 | ru |
Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Федосенко_Исследование_процессов.pdf | 393.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.