1. Репозиторий УО "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины"
  2. Труды учёных ГГУ
  3. Статьи
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФедосенко, Н.Н.-
dc.contributor.authorАлешкевич, Н.А.-
dc.contributor.authorШолох, В.Г.-
dc.contributor.authorКупо, А.Н.-
dc.date.accessioned2022-03-30T09:54:05Z-
dc.date.available2022-03-30T09:54:05Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationИсследование процессов лазерного травления фоторезистов / Н.Н. Федосенко, Н.А. Алешкевич, В.Г. Шолох, А.Н. Купо // Чрезвычайные ситуации: образование и наука. - 2012. - Т. 7, № 1. - С. 104-109.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36146-
dc.description.abstractВыполнено математическое моделирование процессов лазерного травления эпоксидных фоторезистов с использованием излучений видимого и ближнего ультрафиолетового диапазонов. Приведены результаты исследования топографии поверхностей полученных фотерезистов методами растровой электронной микроскопии. Установлено, что наибольшая эффективность лазерного травления достигается при использовании излучения длиной волны 355 нм.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherГомельский инженерный институт МЧС Республики Беларусьru
dc.subjectфотолитографияru
dc.subjectлазерное травлениеru
dc.subjectфоторезистru
dc.subjectдеструкцияru
dc.subjectлазерное излучениеru
dc.subjectмикроструктураru
dc.titleИсследование процессов лазерного травления фоторезистовru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk544.032.65:5241.525-
dc.rootЧрезвычайные ситуации: образование и наукаru
dc.placeOfPublicationГомельru
dc.number№ 1ru
dc.volume7ru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Федосенко_Исследование_процессов.pdf393.42 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.