Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАлгазин, Ю.Б.-
dc.contributor.authorАрхипенко, А.В.-
dc.contributor.authorБакланов, М.Р.-
dc.contributor.authorБлюмкина, Ю.А.-
dc.contributor.authorСвиташев, К.К.-
dc.contributor.authorСемененко, Л.В.-
dc.contributor.authorСтепанов, С.А.-
dc.date.accessioned2022-04-13T13:34:39Z-
dc.date.available2022-04-13T13:34:39Z-
dc.date.issued1977-
dc.identifier.citationАлгазин, Ю.Б. Исследование и анализ рабочих характеристик автоматизированной эллипсометрической установки / Ю.Б. Алгазин [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 43, вып. 1. – С. 168-175.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37376-
dc.description.abstractОписана эллипсометрическая установка, предназначенная в первую очередь для исследования гетерогенных реакций в физико-химических процессов на поверхности твердого тела. Проведен сопоставительный анализ описываемого прибора с автоматическим эллипсометром с вращающимся анализатором. Возможности установки проиллюстрированы на примерах получения в сверхвысоком вакууме атомарно-чистой поверхности германия и адсорбции сухого кислорода на чистой поверхности кремния.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherНаукаru
dc.titleИсследование и анализ рабочих характеристик автоматизированной эллипсометрической установкиru
dc.typeArticleru
dc.placeOfPublicationЛенинградru
dc.edition1ru
dc.volume43ru
Appears in Collections:Оцифрованный фонд

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Алгазин_Исследование.pdf14.82 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.