| Title: | Модификация электрофизических и оптических свойств кремния обработкой в водородной плазме |
| Authors: | Смирнова, О.Ю. Стельмах, Г.Ф. Покотило, Ю.М. Маркевич, В.П. Мазаник, А.В. Королик, О.В. |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Citation: | Модификация электрофизических и оптических свойств кремния обработкой в водородной плазме / О.Ю. Смирнова [и др.] // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : IV Республиканская научная конференция, посвященная 90-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2016 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2016. – С. 123-126. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37485 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Смирнова_Модификация.pdf | 347.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.