| Title: | Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц |
| Other Titles: | Sources of low-energy charged particle beams |
| Authors: | Груздев, В.А. Залесский, В.Г. Солдатенко, П.Н. Gruzdev, V.A. Zalesski, V.G. Soldatenko, P.N. |
| Keywords: | низкоэнергетичные пучки плазменный источник электронов электродная структура low-energy beams electron source electrode structure |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Citation: | Груздев, В.А. Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц / В.А. Груздев, В.Г. Залесский, П.Н. Солдатенко // Проблемы физики, математики и техники. Сер.: Физика. - 2014. - № 4 (21). - С. 7-9. |
| Abstract: | В работе представлены некоторые результаты, полученные при разработке низкоэнергетичных плазменных источников электронов, формирующих электронные и ионные пучки с параметрами, достаточными для реализации ряда технологий модификации поверхностей. Some results obtained in the development of low-energy IEP forming electron and ion beams with parameters sufficient for a number of surface modification technologies are presented. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/40568 |
| Appears in Collections: | Проблемы физики, математики, техники. Физика |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Груздев_2014-4.pdf | 407.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.