Оптимизация лазерной полировки кварцевого стекла с использованием метода планирования вычислительных экспериментов

Abstract

В данной работе с использованием метода полного факторного эксперимента и метода перебора параметров выполнена оптимизация процесса лазерной полировки кварцевого стекла. В результате конечноэлементного моделирования определены режимы лазерной полировки кварцевого стекла с использованием CO₂-лазера, обеспечивающие заданные значения температуры в зоне обработки при минимальных значениях термоупругих напряжений в кварцевых пластинах. In this work, using the method of full factorial experiment and the method of enumeration of parameters, the process of laser polishing of quartz glass is optimized. As a result of finite element modeling, the modes of laser polishing of quartz glass using a CO₂ laser were determined. These modes provide the specified temperatures in the treatment zone at the minimum values of thermoelastic stresses in quartz plates.