Структура и механические свойства кремний-углеродных покрытий, легированных хромом

Abstract

Определены морфологические особенности, фазовый состав и механические свойства легированных хромом кремний-углеродных покрытий, сформированных ионно-лучевым распылением составной мишени на основе карбида кремния и хрома. Установлено, что введение хрома в покрытие приводит к снижению концентрации кислорода, способствует структурной упорядоченности sp²-кластеров. Легированные хромом Si / C покрытия имеют более гладкую поверхность, характеризуются повышенной пластичностью, более низкими значениями коэффициентов трения и объемного изнашивания контртела. The morphological features, phase composition, and mechanical properties of chromium-doped silicon-carbon coatings formed by ion-beam sputtering of a composite target based on silicon and chromium carbide are determined. It has been established that the introduction of chromium into the coating leads to a decrease in the oxygen concentration and contributes to the structural ordering of sp² clusters. Alloying with chromium Si / C coatings have a smoother surface and are characterized by increased plasticity, lower values of friction coefficients and volumetric wear of the counterbody.