Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда

Abstract

Изучено влияние электрических режимов управляемого импульсного инверторного источника электропитания СВЧ магнетрона на условия генерации плазмы СВЧ разряда большого объёма (около 9000 см3) в крупногабаритной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа. Исследовано влияние параметров анодного тока в цепи электропитания СВЧ магнетрона на оптические характеристики СВЧ разряда. Проведен сравнительный анализ оптических характеристик формируемого в импульсном и непрерывном режиме генерации СВЧ разряда в зависимости от выходной мощности источника электропитания СВЧ магнетрона. Установлено, что уменьшение скважности между пачками импульсов анодного тока и последующий переход к постоянному режиму приводит к непропорциональному увеличению энерговклада в плазму СВЧ разряда. = The influence of the electrical modes of the controlled microwave magnetron pulsed inverter power supply on the conditions of large-volume microwave discharge plasma (about 9000 cm3) generation in a large-sized chamber of a resonatortype microwave plasmatron has been studied. The influence of anode current parameters in the power supply circuit of the microwave magnetron on the microwave discharge optical characteristics has been researched. A comparative analysis of the optical characteristics of the microwave discharge formed in the pulsed and constant generation modes depending on the power output of the microwave magnetron power supply has been carried out. It has been established that a decrease in the duty factor between pulses of anode current and the subsequent transition to a constant mode leads to a disproportionate increase in the energy input into the microwave discharge plasma.