Электронно-лучевой синтез и оптические свойства покрытий на основе тугоплавких оксидов ZrO2 и SiO2

Abstract

В статье представлены результаты исследования по определению спектральных характеристик и расчету оптических постоянных (показателя преломления, коэффициента поглощения) покрытий ZrO2 и SiO2, полученных методом электронно-лучевого испарения мишеней из тугоплавких оксидов. В процессе синтеза контроль оптической толщины покрытия осуществлялся с помощью встроенной системы ИРИС. Полученные покрытия ZrO2 и SiO2 обладают различными значениями показателей преломления и коэффициента поглощения. Установлено, что покрытия ZrO2 и SiO2 можно применять в качестве слоев с высоким (n2=1,712) для ZrO2 и низким (n2=1,509) для SiO2 показателями преломления при формировании многослойных оптических покрытий различного функционального назначения.