| Title: | Концентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологии |
| Other Titles: | Concentrated compositions based on nanosized particles of silicon dioxide obtained by ion-exchange technology |
| Authors: | Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Васькевич, В.В. Тюленкова, О.И. Маевский, А.А. Савицкая, Т.А. Кимленко, И.М. Kosenok, YA.A. Gaishun, V.E. Vaskevich, V.V. Tulenkova, O.I. Mayevsky, A.A. Savitskaya, T.A. Kimlenko, I.M. |
| Keywords: | ионный обмен золь кремниевой кислоты коллоидная композиция ионообменная смола атомно-силовая микроскопия реология полирующая суспензия ion-exchange, silica sol, silica sol colloidal composition ion exchange resin atomic force microscopy rheology polishing suspension |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Гомельский государственный технический университет имени П.О. Сухого |
| Citation: | Концентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологии = Concentrated compositions based on nanosized particles of silicon dioxide obtained by ion-exchange technology / Я.А. Косенок [и др.] // Вестник Гомельского государственного технического университета имени П.О. Сухого. - 2022. - № 3. - С. 55-61. |
| Abstract: | Разработана лабораторная установка для получения концентрированных композиций на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, в которой используется ионообменная технология. Исследованы структурно-реологические свойства полученных композиций. Установлены температурные зависимости плотности и рН композиций. Методом атомно-силовой микроскопии определены размеры частиц диоксида кремния в композициях. Проведены производственные испытания композиций в процессе химикомеханической полировки пластин монокристаллического кремния. = A laboratory plant has been developed for producing concentrated compositions based on nanoscale particles of silicon dioxide, which uses ion-exchange technology. Structural and rheological properties of the obtained compositions were investigated. Temperature dependencies of density and pH of compositions are established. The size of silicon dioxide particles in the compositions was determined by atomic force microscopy. Production tests of compositions in the process of chemical-mechanical polishing of single-crystal silicon plates were carried out. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/49266 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Косенок_Концентрированные.pdf | 1.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.