Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Мельникова, Е.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-12-21T08:45:17Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-21T08:45:17Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Мельникова, Е.А. Суспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния / Е.А. Мельниклва// Творчество молодых` 2014 : сборник научных работ студентов, магистрантов и аспирантов. В 3 ч. / редкол.: О.М. Демиденко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2014. – Ч. 1. – С. 128-132. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/50104 | - |
| dc.description.abstract | В статье описывается методика приготовления высокоэффективных полирующих суспензий на основе наноразмерных порошков SiO2 для химико-механического полирования пластин монокристаллического кремния, результаты исследований полирующих свойств суспензий СПС-8 и СПС-55 и их сравнение с коммерческими золями Nalko 2358 и Nalko 2360 (США), а также приводятся АСМ изображения поверхности пластин кремния после I и II стадий химико-механического полирования полученными суспензиями. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины | ru |
| dc.title | Суспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 546.28 | - |
| dc.root | Творчество молодых` 2014 : сборник научных работ студентов, магистрантов и аспирантов | ru |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| dc.edition | 1 | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Мельникова_Суспензии.pdf | 808.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.