Фазовый состав и структура многослойных наноразмерных металл-углеродных покрытий

Abstract

Методами КР спектроскопии и атомно-силовой микроскопии определено влияние подслоев различной природы на фазовый состав и морфологию однокомпонентных и композиционных углеродных покрытий. Показано, что при осаждении легированного титаном углеродного покрытия на подслое титана образуются более дисперсные Сsp 2 кластеры. При этом легированные углеродные покрытия характеризуются меньшими шероховатостью и размером зерна.

The influence of sublayers of various nature on the phase composition and morphology of one-component and composite carbon coatings is determined by the methods of Raman spectroscopyand atomic force microscopy. It is shown that when depositing titanium-doped carbon coating on a titanium sublayer, more dispersed Csp 2 clusters are formed. At the same time, doped carbon coatings are characterized by lower roughness and grain size.