Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гольдаде, В.А. | - |
| dc.contributor.author | Федосенко, Н.Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-08-09T11:27:25Z | - |
| dc.date.available | 2018-08-09T11:27:25Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Гольдаде, В. А. Методы получения тонких пленок : практическое пособие по курсу «Материалы электронной техники» для студентов физического факультета / В.А. Гольдаде, Н.Н. Федосенко ; М-во образования РБ, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2015. – 41 с. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-577-070-2 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/5533 | - |
| dc.description.abstract | Издание разработано в соответствии с Типовой учебной программой «Материалы электронной техники» и с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». В практическом руководстве изложены основные данные о методах получения тонких пленок: термовакуумное напыление, ионно-плазменные и ионно-лучевые методы. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельскі дзяржаўны універсітэт імя Ф. Скарыны | ru |
| dc.subject | термовакуумное напыление | ru |
| dc.subject | реактивное распыление | ru |
| dc.subject | лазерное испарение | ru |
| dc.subject | резистивное испарение | ru |
| dc.subject | методы получения тонких пленок | ru |
| dc.title | Методы получения тонких пленок | ru |
| dc.identifier.udk | 539.216.2(076.5) | - |
| dc.identifier.bbk | 22.36я73 | - |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| Appears in Collections: | факультет физики и информационных технологий : документы для всех специальностей | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| макет ТОНКИЕ ПЛЕНКИ_ч_гольдаде_методы+.pdf | 1.41 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.