| Title: | Исследование микротвердости формируемых пленок дисилицида титана с использованием БТО |
| Authors: | Демиденко, Н.Е. Петлицкий, А.Н. |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Citation: | Демиденко, Н.Е. Исследование микротвердости формируемых пленок дисилицида титана с использованием БТО / Н.Е. Демиденко ; науч. рук. А.Н. Петлицкий // Актуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.) : сборник материалов / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2023. – С. 40-42. |
| Abstract: | В данной работе мы рассмотрим эффективный метод формирования пленок дисилицида титана с использованием быстрого термического отжига и оценим их микротвердость. Для этого используется твердофазная реакция пленки титана с областями кремния с помощью быстрой термической обработки, что позволяет минимизировать влияние окружающей среды на образование силицидов и на уже сформированные элементы активной структуры интегральных микросхем. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62197 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Демиденко_Исследование.pdf | 332.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.